Fabricación de Obleas Multiproyecto con el Tecnológico Nacional de México – Instituto Tecnológico de La Laguna

Actualmente se encuentra en ejecución la fabricación de tres obleas multiproyecto desarrolladas en colaboración con el Instituto Tecnológico de La Laguna (TecNM), como parte de las iniciativas de formación de talento y prototipado de dispositivos semiconductores impulsadas a través de la plataforma TFS20 del CIDESI.

La plataforma TFS20 opera como un servicio de apoyo al diseño orientado a integrar múltiples proyectos dentro de una oblea de silicio, facilitando el acceso a infraestructura de microfabricación y promoviendo el aprendizaje práctico en diseño y fabricación de dispositivos semiconductores. Bajo este esquema, estudiantes y profesores participan activamente en el desarrollo y materialización de sensores funcionales, utilizando áreas de trabajo estandarizadas de 5 × 5 mm, lo que permite integrar diversas propuestas en un mismo ciclo de fabricación.

El proceso tecnológico se basa en técnicas de fotolitografía para la definición de geometrías metálicas de oro o níquel sobre materiales dieléctricos, permitiendo alcanzar resoluciones de hasta 5 micrómetros en los trazos. Para asegurar la integridad estructural y eléctrica de los dispositivos, la tecnología incorpora capas de nitruro de silicio como protección y pasivación, las cuales permiten definir con precisión las ventanas de contacto y resguardar las áreas activas de los sensores.

Este esquema multiproyecto permite que diversas propuestas de investigación coexistan dentro de una misma oblea, optimizando el uso de recursos de microfabricación y brindando a los participantes una experiencia directa en el desarrollo de dispositivos de estado sólido. La ejecución de estas tres obleas representa un paso importante en la consolidación del modelo de fabricación colaborativa de semiconductores en México, fortaleciendo la formación de talento y el desarrollo de capacidades nacionales en micro y nanoelectrónica.

Estado del proyecto: En ejecución.